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          Category Name
          氮化硅陶瓷
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          氮化硅陶瓷

          高導熱基片


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          高導熱氮化硅陶瓷基片

          特點:強度高,抗彎強度約為Al2O3AlN基板的2

          高導熱,熱導率比Al2O3基板高3倍以上

          輕薄化,厚度可達到AlN基板的1/2

          抗熱震性優異,熱膨脹系數接近硅

          項目

          單位

          Al2O3

          AlN

          Si3N4

          密度

          g/cm2

          3.75

          3.30

          3.22

          常規厚度

          mm

          0.3175~1.0

          0.4~2.5

          0.238~0.635

          表面粗糙度Ra

          μm

          0.4

          0.2

          0.4

          機械

          性能

          彎曲強度

          MPa

          310~400

          300~450

          650

          楊氏模量

          GPa

          330

          320

          310

          維氏硬度

          GPa

          14

          11

          15

          斷裂韌性

          MPa·ml/2

          3~4

          2~4

          5~7

          熱特性

          熱膨脹系

          10?-6/K

          7.1~8.1

          4.5~4.6

          2.6

          導熱系數

          W/(m?K)

          20~30

          160~255

          60~120

          比熱

          J/(kg?/?K)

          750

          720

          680

          電氣

          特性

          介電常數

          --

          9~10

          8~9

          7~9

          介電損耗角正切

          10-3

          0.2

          0.3

          0.4

          體積電阻率

          Ω?m

          >?10?12

          >?10?12

          >?10?12

          擊穿電壓

          kv/mm

          >?12

          >?14

          >?14